1）燃燒法

燃燒法主要有根據燃燒的溫度及輔助介質不同又分為直接燃燒法和催化燃燒法兩種。

催化燃燒法較適合於高濃度、小風量化工廢氣的淨化，在處理低濃度的廢氣時，由於要維持300～400℃的催化燃燒溫度，需借助於活性炭吸附等濃縮工藝來提高廢氣的燃燒熱值，但化工廢氣中的水氣、油汙及顆粒物易引起活性炭吸附容量下降及催化劑中毒失活等問題，使得該方法的推廣和使用在一定程度上受到了限製。

直接燃燒法是投加輔助燃料與化工廢氣一起送入焚燒爐燃燒，直接焚燒工藝成熟，控製一定的溫度條件下汙染物去除效率高，焚燒徹底，但在使用過程中一般會有一下問題：

①若焚燒含氯、溴代有機物和芳烴類物質時極易產生二惡英類強致癌物質，尤其在焚燒爐啟動和關閉過程中更易產生，為避免二惡英類物質產生，須提高燃燒溫度在1200℃以上，若保持如此高的燃燒溫度不僅運轉費用高，而且對焚燒爐的要求也大大提高。

②焚燒含氯代有機物時會產生氯化氫腐蝕問題，尤其是在高溫狀態下，氯化氫的腐蝕性能大大增強，不僅對管道存在腐蝕，更嚴重的是會引起焚燒爐的腐蝕。

③焚燒時存在爆炸的潛在危險，尤其是易揮發性可燃氣體，若達到其爆炸極限遇明火則有可能引起爆炸。

另外，若廢氣中含有鹵素、氮元素和硫元素的情況下，采用燃燒法極易產生二次汙染物質二惡英、氮氧化合物和硫氧化合物。

 

2）氧化法

該方法主要采用投加氯、臭氧、過氧化氫、高錳酸鉀等強氧化劑來破壞汙染物分子，具有反應快，處理裝置簡單等優點。其缺點是淨化效率不高，氧化劑投加量難以控製。

 

3）吸收法

利用汙染物質的物理和化學性質，使用水或化學吸收液對化工廢氣進行吸收去除的方法。該方法在設計操作合理的情況下去除效率很高，運轉管理方便，但對設備及運行管理要求極高，而且隻有能溶解於吸收液或能與吸收液反應的汙染物才能被有效去除。  

 

4）吸附法  

該方法是當汙染物質通過裝有吸附劑（如活性炭、疏水分子篩等）的吸附塔時，利用該吸附劑對汙染物的強吸附力，從而達到淨化廢氣的目的。該方法設備簡單，去除效果好，多用於淨化工藝的末級處理。該方法缺點是對高濃度化工廢氣處理效率低、占地麵積大、氣阻大、吸附劑需經常更換或再生等缺點，而且吸附劑脫附後的氣體難於收集而又排回大氣中，是一種不徹底的解決途徑。

 

5）生物法

生物法是近年來研究較多的一種處理工藝，該方法突出的優點是處理成本低廉、基本無二次汙染。生物法雖然在淨化低濃度有機汙染物時效果明顯，具有能耗低的優點，但存在氣阻大、降解速率慢、設備體積龐大、易受汙染物濃度及溫度的影響，而且該法僅適用於親水性及易生物降解物質的處理，對疏水性和難生物降解物質的處理還存在一定難度。