化工廢氣光微波處理工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由於它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用於被處理空間(區域)，由於微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計隻是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由於微波的預激功能，的提高等離子體區，極板區的激發能力和處理效果，由於微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。